瑞士Admotec-Precision（簡(jiǎn)稱Admotec）是精密磁傳感器與旋轉(zhuǎn)變壓器領(lǐng)域的制造商，1987年成立于瑞士蘇黎世，核心技術(shù)為Rotasyn實(shí)心轉(zhuǎn)子無(wú)繞組旋轉(zhuǎn)變壓器，專注于工況下的高精度角度/位置反饋。

　　Admotec-Precision的RO系列（Rotasyn實(shí)心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)變壓器，非電力變壓器）在半導(dǎo)體行業(yè)的核心應(yīng)用、技術(shù)適配點(diǎn)。

　　RO系列憑借無(wú)軸承無(wú)框架+實(shí)心無(wú)繞組轉(zhuǎn)子+恒定氣隙+寬溫耐壓密封設(shè)計(jì)，適配半導(dǎo)體制造的真空、高溫、化學(xué)腐蝕、強(qiáng)EMI/等離子體、高速高精度定位等ji端工況。

　　核心應(yīng)用場(chǎng)景與推薦型號(hào)（優(yōu)先級(jí)排序）

　　1.光刻機(jī)（光刻物鏡/晶圓臺(tái)/雙工件臺(tái)）

　　光刻物鏡調(diào)焦/調(diào)平電機(jī)角度反饋：RO2010（20mm定子，≤4mm軸徑），高速微型，無(wú)接觸免維護(hù)，適配真空腔與高頻動(dòng)態(tài)響應(yīng)

　　晶圓臺(tái)/雙工件臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸定位：RO3620/RO5032，多極對(duì)版本提升分辨率至±4弧分，配合高帶寬RDC實(shí)現(xiàn)納米級(jí)角度閉環(huán)

　　物鏡溫控模塊閥門角度反饋：RO2613，小型化，介質(zhì)兼容，溫控精度輔助至±0.1°C

　　2.刻蝕機(jī)（反應(yīng)腔/偏壓電極/氣體閥門）

　　反應(yīng)腔高壓工藝閥門角度控制：RO5032-K（寬溫+鈦合金+高壓密封），耐受1600bar，耐腐蝕性氣體（如CF4、SF6）

　　偏壓電極/靜電卡盤（ESC）旋轉(zhuǎn)定位：RO3620，強(qiáng)EMI免疫，適配等離子體環(huán)境

　　刻蝕腔清潔機(jī)器人關(guān)節(jié)反饋：RO2010/RO2613，小型化，高速，潔凈室兼容

　　3.離子注入機(jī)/薄膜沉積（CVD/PVD/ALD）

　　離子束角度與掃描機(jī)構(gòu)定位：RO3620，高速高精度，寬溫，強(qiáng)EMI免疫

　　氣體流量/工藝壓力閥門控制：RO5032，油浸/介質(zhì)兼容，無(wú)密封設(shè)計(jì)，降低維護(hù)成本

　　沉積腔旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)角度反饋：RO6040，中型定子，適配重載與高精度閉環(huán)

　　4.晶圓傳輸與自動(dòng)化（機(jī)械臂/EFEM/AMHS）

　　晶圓傳輸機(jī)器人關(guān)節(jié)電機(jī)角度反饋：RO2010/RO2613，低慣性，高速，小型化，適配潔凈室與頻繁啟停

　　真空EFEM（設(shè)備前端模塊）旋轉(zhuǎn)軸定位：RO3620，無(wú)軸承無(wú)框架，真空兼容，密封電纜

　　RO系列旋轉(zhuǎn)變壓器在機(jī)械和電氣上與傳統(tǒng)無(wú)刷旋轉(zhuǎn)變壓器兼容，可以方便地替換原始設(shè)備或現(xiàn)有設(shè)備中的傳感器，實(shí)現(xiàn)設(shè)備升級(jí)。同時(shí)，AdmotecPrecision還提供定制化服務(wù)，可根據(jù)半導(dǎo)體制造設(shè)備的特定需求，設(shè)計(jì)不同尺寸、繞組特性、高溫/高輻射絕緣材料（如Kapton）、更大氣隙等定制產(chǎn)品，滿足特殊應(yīng)用場(chǎng)景的需求。